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我們制備出高性能的氧化鎵金屬-半導體-金屬(MSM)和金屬-絕緣體-半導體-絕緣體-金屬(MISIM)結構日盲深紫外光電探測器，峰值響應波長在250 nm左右。所制備的MSM結構光電探測器表現出7.5 pA的暗電流、1.31×107的光暗電流比、1.31×1015 Jones的比檢測率和 53 A/W的光響應度。同時，在器件性能優化方面，創新性地在金半界面處引入了氮化鋁層改善器件性能：利用氮化鋁/氧化鎵界面工程對載流子傳輸進行調控，實現了對響應度和響應速度的優化。通過引入3 nm氮化鋁層，光電探測器的性能達到了482 A/W 的響應度、2.48×1015 Jones 的比探測率和0.10 s 的下降時間。

應用前景：

日盲深紫外光電探測器具有廣泛的應用前景，在環境監測、醫療診斷、光通信、工業制造等多個領域都有重要的應用和推廣價值。在環境監測領域可用于監測大氣污染物、水質污染、化學氣體濃度等方面，具有重要的環境保護和安全監測意義；在醫療診斷上可用于醫學影像、生物熒光標記、細胞成像等方面，幫助提升醫學診斷的準確性和效率；在光通信上可以用于深紫外光信號的接收和檢測，促進光通信技術的發展和應用；在工業制造上可以實現對工件的精準控制和監測，提升工業制造的質量和效率。