項目主要研發內容為高端多層柔性電路板關鍵技術工藝開發,擬解決關鍵技術問題如下:
1、卷對卷精密蝕薄銅技術:采用新型RTR濕法工藝技術對常規銅箔進行減薄。主要目標為將常規銅箔(36 um)蝕薄為卷對卷所需厚度(≤24 um),均勻性大于95%;
2、多層板卷對卷鐳射鉆孔:采用國際先進的美國 ESI 鐳射鉆孔機搭配卷對卷對收放板機實現銅箔卷對卷鐳射鉆孔,取代傳統的 CNC 片式鉆孔,可實現多層板內層最小通孔直徑鉆孔加工能力由 0.15 mm 提升到 50 μm,本項目擬開展通過優化鐳射鉆孔設備功能及優化鐳射工藝參數,擬突破鐳射鉆孔制程能力,預期實現多層板內層最小通孔孔徑 40 μm、最小盲孔孔徑 50 μm;
3、卷對卷等離子處理技術:通過調控等離子能量和時間,精準實現等離子對鉆孔后殘留物的處置。主要開發適合處理鐳射鉆孔、黑膜和電鍍等工藝過程殘留的有機物、清潔孔壁和做干膜處理的等離子處理工藝;
4、卷對卷精密鍍銅填孔技術:項目擬開展通過選擇優良鍍銅藥水及優化鍍銅工藝參數,預期實現最小通孔 40 μm 鍍銅,孔銅 ≥8 μm。盲孔鍍銅時,采用填孔鍍銅工藝,采用專用的填孔鍍銅藥水,填孔鍍銅工藝可以提高電路板層間的導通性能,改善產品的導熱性,減少孔內孔洞,降低傳輸信號的損失,這將有效的提高電子產品的可靠性和穩定性。項目擬開展通過導入優化填孔鍍銅線、選擇優良鍍銅藥水及優化鍍銅工藝參數,預期實現最小盲孔 50 μm 鍍銅,盲孔全填,dimple ≤ 15 μm。實現35/35 um 精細線路的圖形轉移,實現在基板的雙面整體蝕刻均勻,蝕刻均勻性≧90%、線路線寬公差±15 μm制作能力的需求。
5、卷對卷鐳射優化技術:分解影響多層板的關鍵材料為銅箔、絕緣層(高分子膠膜)和銅箔為一個研究單元,開展包括微觀形貌、熱性能、3D顯微和元素分析等材料基礎性能研究,優選適合卷對卷生產的關鍵材料銅箔與膠膜組合,確定了兩種主要尺寸盲孔和通孔的激光鐳射工藝參數,完成項目既定的目標鐳射孔孔壁的突出和內陷控制在 15 μm 以下。
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