本項目開發了基于金屬鈀超薄納米薄膜的光學氫氣傳感器。課題組采用獨特的薄膜材料與沉積技術制備出具有氫氣刺激響應特性的卷曲組裝觸發器陣列芯片。該芯片對氫氣的吸附與脫附能實現可見光透過率50%的變化。
此外,課題組還將鈀超薄納米薄膜與柔性單晶硅納米薄膜光電晶體管結合,利用鈀超薄納米薄膜透過率變化調控光電晶體管的溝道電流,從而實現了安全、高效、快速的氫氣可視化檢測??梢暬问桨ú牧项伾兓?、報警發聲、數據顯示等。
目前,課題組還在探索高集成、高密度的三維多功能檢測創新體系和裝置。本項目相關技術已獲授權中國發明專利(ZL202110214271.7、ZL201810641931.8、ZL201610128635.9等)。
評論
全部評論