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    1、實現空中搬送小車高速行走的新型安全供電方式。2、提高系統效率的AMHS系統效率因素研究和系統穩定可靠的多任務控制策略。3、高速搬送車運行、轉向、升降和定位的穩定性研究（無晃動擺動）。

    1、空中晶圓輸送小車多岔道自動轉向技術（無需道岔） ，需要研究空中搬送車的邏輯分配、在十字路口處空中搬送車的先后通行順序的邏輯控制、當前方的搬送車發生故障時后續搬送車的反應邏輯、空中搬送車行走臥的僅域控制，空中搬送車行走的最優路徑選擇和調層空閑搬送車的管理。國內空白，目前世界上半導體行業應用的半導體晶圓潔凈自動搬送系統（AMIS）均為日本的村田和大福制造。2，該系統對控制的要求較高，要既快又穩， 啟停無抖動，需在控制算法策略上和信號響應上開展研究攻關和突破。3、主要參數：速度>3m/s，重復停位精度：±1mm；取放物料精度x軸：±0. 2mm； Y：±0. 2mm；整機開動率>99.6%；調度空中穿校車數量>20臺；整機噪聲<45dB（A） ；振動速度有效值<0.45mm/s。