28nm 浸沒式光刻機的投影物鏡需要多個可動機構驅動鏡片運動，以補償波像差和畸變的高階誤差。壓電陶瓷作為一種高分辨率的微位移驅動裝置，具有結構緊湊、控制特性好、納米精度等特點，且在運動過程中不會產生熱量，成為物鏡補償機構測試系統中尺蠖式壓電陶瓷電機的最佳選擇。另一方面，投影物鏡的多個可動鏡片要實現閉環反饋控制，則需要高精度的位移傳感器，該位移傳感器要具有亞納米分辨率、低噪聲、高穩定性等特征。然而，我國僅有部分高校研制過壓電驅動器原理樣機，離實用差距較大，傳感器類則不適用與光刻機系統。國外 知名公司（如 PI 和海德漢）該類產品也對國內禁運或停止技術支持。因此，我國亟需突破和開發具有自主知識產權的高頻響驅動尺蠖式壓電陶瓷電機和高精度位移傳感器。
本項目針對上述國家重大專項需求，擬開展高頻響亞納米步長尺蠖式壓電陶瓷電機和高精度光柵尺位移傳感器的關鍵技術研究，為解決國外針對該類型尺蠖式壓電陶瓷電機和傳感器卡脖子問題，實現關鍵部件的國產化奠定基礎。
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