本項目利用碳化硅作為傳感器材料,關鍵環節包括傳感器的結構設計、SiC的制備、SiC摻雜以及傳感器芯片的封裝工藝等。開發出全碳化硅高溫壓力傳感器系列產品,量程包括MPa級、KPa級等多個量程段壓力,工作溫度范圍-40℃-550℃,瞬態溫度范圍-40℃-1500℃。
更新時間:2022-06-04
所屬領域
裝備制造項目類型
制造業項目年份
2022項目狀態
中試階段合作方式
技術轉讓,技術入股,其它本項目利用碳化硅作為傳感器材料,關鍵環節包括傳感器的結構設計、SiC的制備、SiC摻雜以及傳感器芯片的封裝工藝等。開發出全碳化硅高溫壓力傳感器系列產品,量程包括MPa級、KPa級等多個量程段壓力,工作溫度范圍-40℃-550℃,瞬態溫度范圍-40℃-1500℃。
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