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大尺寸高精度快速化平板表面質量檢測裝置的研制

華僑大學機電及自動化學院

更新時間:2022-04-19

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所屬領域

裝備制造

項目類型

制造業

項目年份

2022

項目狀態

可產業化

合作方式

合作開發

項目簡介

    平板表面質量的檢測水平影響了以手機為核心的移動產業鏈的發展,針對光學顯示平板尺寸大、劃痕小且位置不確定、要求檢測時間短的難題,本項目以檢測大尺寸顯示平板上的劃痕或微觀瑕疵為目的,旨在探索線型光源下的彩色共焦測量技術。通過本項目的研究,為產生穩定的線型光源、線型光彩色共焦技術用于平面形貌測量、快速化彩色共焦圖像處理技術等提供借鑒。本項目將光、機、電等領域的相關技術有機地結合在一起,充分發揮各自的優勢,并借助對機械結構及高精度驅動的研究,建立較完備的檢測系統及裝置,獲得較高的整體綜合性能。 項目的技術內容包括:(1)彩色共焦技術研究;(2)基于DMD的高質量線型光源控制及產生方法研究;(3)線型光彩色共焦實驗臺及快速化圖像處理方法研究;(4)DMD線型光掃描策略設計及檢測裝置的構建。

    預期技術指標:(1)提出可實現大尺寸高精度快速化顯示平板表面質量檢測的方案; (2)設計和建立能實現上述檢測方案的系統及裝置,擬實現以下技術指標: ①檢測時間小于或等于15s; ②對5〃及以上尺寸顯示平板上的劃痕或瑕疵定位、并測量其深度;③檢測劃痕或瑕疵深度的測量精度優于2μm; ④友好的人機交互界面,可視化操作,智能化測量。

    已申請國家專利技術包括:ZL201320526953.2 基于數字微鏡器件的跨尺度測量裝置;  ZL201420223108.2 一種基于數字微鏡器件的勻光系統; CN201310378749 基于數字微鏡器件的跨尺度測量方法;  CN201410161577 一種柔性表面形貌快速提取方法; CN201410183857 一種基于數字微鏡器件的勻光系統。


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